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Si 间隔层对Al(1 wt.%Si)/Zr 极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文)
为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性,采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al(1 wt.%Si)/Zr多层膜,并将这些样品分别进......
期刊
Al/Zr多层膜
热稳定性
Si间隔层
合金界面层模型
Al/Zr multilayers
thermal stability
Si barrier layer
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